研究施設紹介

超伝導システム科学研究センター

超伝導システム科学研究センター九州大学の学内共同利用施設である超伝導システム科学研究センター(※)と連携して、超伝導技術の産業応用に関する研究を進めています。1)先進超伝導材料の特性解明と高性能化や、2)超伝導変圧器、超伝導モータ等の超伝導電力機器開発、3)超伝導量子干渉計(SQUID)と呼ばれる超高感度な磁気センサを用いた超伝導バイオセンシングシステムの開発など、基礎から応用にわたる研究開発を行っており、国際的にも高い評価を得ています。

併任教員:圓福教授、木須教授、岩熊教授、柁川准教授、井上准教授、吉田准教授

(※超伝導システム科学研究センターは、システム情報科学研究院のほか工学研究院、総合理工学研究院などの支援を得て2003年4月に発足した学内共同利用施設です。)

クリーンルーム

クリーンルーム半導体集積回路、液晶パネル、プラズマパネル、マイクロマシンの製造過程において、空気中の塵埃が素子にとりこまれることで隣接する回路との短絡、あるいは欠損を引き起こし不良が発生する。このため、清浄な環境下での作業が必要とされる。本学では、クリーン度(※)100クラス程度のクリーンルーム設備を有し、最新の半導体関連研究が遂行可能である。

(※クリーン度は1立方フィートあたりの空気に、粒径0.5μm以上の塵埃(粒子個数)がいくつあるかを表したもので、晴天時の外気はクラス1,000,000程度に相当する。)